怎样分析XPS能谱

您好

您可以找一本 X射线光电子潽学 的书来看看，如果您打算了解这门学问的话，但是如果您仅仅是想分析谱图，那么就简单了，首先您做出的谱图如果是含有多种元素的图，那就要先完成分峰这个任务，找一个分峰的软件，我用的是XPS PEAKFIT，然后查到各个峰的位置，也就是找到横坐标：结合能（Binding energy），再和标准的峰位表进行比对，就可以确定这个峰到底是对应什么元素了。大体就是这个思路，因为我做的是稀磁半导体的掺杂，所以我使用XPS来确定我掺杂物的价态，所以我简要说了我的工作所涉及的步骤，XPS还有其他很多用处。