芯片生产设备有哪些?

1、光刻机

2、ICP等离子体刻蚀系统

3、反应离子刻蚀系统

4、离子注入机

5、单晶炉

6、晶圆划片机

7、晶片减薄机

8、气相外延炉

9、分子束外延系统

10、氧化炉（VDF）

11、低压化学气相淀积系统

12、等离子体增强化学气相淀积系统

13、磁控溅射台

14、化学机械抛光机

15、引线键合机

16、探针测试台