半导体ballroom是什么

开放式空间。半导体厂厂区的布置设计多为矩形的配置形态。其中通常包括一个中央的大型走道，而各制程区则布置于此中央走道的上下两侧以及左侧或右侧(其中一左侧或右侧是提供人员进出厂区的通道)，并以矩形的形态来分割整体厂区的面积。而制程区内机台设备的布置方式，主要可分为「走道空间」(Bay-Chase)与「开放式空间」(Ballroom)两种不同的区内布置型式。