等离子发生器的分类

1、按等离子焰温度分：

（1） 高温等离子体：温度相当于108~109K完全电离的等离子体，如太阳、受控热核聚变等离子体。

（2）低温等离子体：

热等离子体：稠密高压（1大气压以上），温度103~105K，如电弧、高频和燃烧等离子体。

冷等离子体： 电子温度高（103~104K）、气体温度低,如稀薄低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体、DBD介质阻挡放电等离子体、索梯放电等离子体等。

2、按等离子体所处的状态：

（1）平衡等离子体：气体压力较高，电子温度与气体温度大致相等的等离子体。如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。

（2）非平衡等离子体：低气压下或常压下，电子温度远远大于气体温度的等离子体。如低气压下DC辉光放电和高频感应辉光放电，大气压下DBD介质阻挡放电等产生的冷等离子体。

低温等离子体的发生技术

·直流辉光放电

·低频放电等离子体

·高频放电等离子体

·非平衡大气压等离子体放电

·介质阻挡放电